日本FLUORO福乐伯努利夹平放式支架

核心特点

1. 底部平放测试，四点边缘限位 盘面配备 4 个软质限位柱，对晶圆边缘做点接触限位，保护晶圆正面线路不被触碰。伯努利卡盘从支架中心通孔下方向上喷气，实现晶圆悬浮，用于离线调试悬浮间隙、检查伯努利吸附状态、晶圆外观检验。一套底座可切换 4 寸、6 寸两种规格圆盘垫片。

⚠️区分：678/699 是夹持固定伯努利卡盘本体（卡盘在上）；BCS-M 是平放承载晶圆，卡盘装在支架下方，属于底部向上悬浮测试工装，二者用途结构不一样。伯努利系统依靠洁净压缩空气驱动，和 FV 真空吸笔系统相互独立。

2. ESD 防静电 PC 材质，洁净低发尘 抗静电聚碳酸酯（ESD PC），透明材质，方便目视观察晶圆悬浮状态；低析出、低粉尘，满足百级 / 千级无尘车间 ESD 防护，保护薄晶圆、SiC、蓝宝石等静电敏感基板。
3. 轻量化扁平结构，台面易摆放 薄型圆盘底座，体积小巧，可直接放置工作台、显微镜载台；可搭配圆形晶圆导环、四角基板导环使用。

  基础规格

• 型号：BCS-M
• 品名：4 英寸、6 英寸用（M）伯努利夹平放式支架
• 材质：抗静电聚碳酸酯（ESD PC）
• 适配：4 英寸、6 英寸 BC 伯努利卡盘
• 结构：中心通孔 + 四点边缘限位柱
• 使用方式：伯努利卡盘从支架下方向上悬浮工件
• 使用环境：Class10～1000 无尘车间

  应用场景

半导体功率器件、光学基板检验工位；用于 4/6 英寸晶圆离线悬浮性能调试、样品外观检测、伯努利卡盘性能验证，适合研发实验室、样品检测工位。

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