日本FLUORO福乐四角基板用导环

核心特点

1. 四角定位限位（核心） 方形轮廓导环，带有 4 处柔和锥度导向挡块，仅与方形基板四边边缘点接触，基板正面电路 / 镀膜区域全程不接触。伯努利气流悬浮搬运时，防止方形基板偏移、旋转、滑脱，稳定悬浮位置，避免薄基板磕碰、碎裂。
2. 防静电透明 PC 材质 抗静电聚碳酸酯（PC），透明材质，可目视观察基板悬浮间隙与吸附状态，方便现场判断气压是否正常；低发尘、低析出，满足百级 / 千级无尘车间 ESD 管控，保护 MEMS、SiC、蓝宝石方形基板。
3. 模块化快换设计 直接拆装在 BC 系列伯努利卡盘头部，无需改动卡盘本体。同一支 BC 卡盘，更换圆形导环 / 四角基板导环，即可切换圆形晶圆与方形基板搬运，减少工具采购。

⚠️重要：BC 伯努利卡盘需要洁净压缩空气驱动，不能搭配 FV 真空泵吸笔系统，和前面 C/F 真空吸笔产品分属两套独立系统。

  基础规格

• 品名：四角基板用导环（方形基板导向环）
• 材质：防静电聚碳酸酯（透明 ESD PC）
• 适配主机：BC-K / BC-P 系列伯努利非接触卡盘
• 适用工件：方形 / 矩形半导体基板（蓝宝石、碳化硅、玻璃载板、薄方形硅片）
• 接触形式：四边边缘点接触，基板正面无接触
• 使用环境：Class10～1000 洁净室
• 选配：按基板长宽尺寸选型，不同基板尺寸对应独立规格四角导环

 应用场景

半导体封测、功率器件、Mini LED、光学行业方形基板 / 矩形衬底转移、检验、镀膜工位；搬运薄型、双面带图案的四角基板，杜绝表面划伤、颗粒污染。

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