日本FLUORO福乐肝素过滤器套装(FV-30/60）

心特点

1. 0.3μm 高效微粒拦截（核心） 采用玻纤 HEPA 滤材，对 0.3μm 粒子捕集效率 99.97%。拾取晶圆、芯片产生的粉尘、碎屑被阻隔在泵体外部，防止颗粒划伤真空泵隔膜，延长泵使用寿命；同时保证真空泵排气洁净，不污染无尘车间环境。

⚠️区分：808 适配 FV‑30/FV‑60/FV-W；809 ** FV‑10，两者尺寸结构不一样，不可互换

2. ESD 防静电、低发尘洁净结构 滤材 + 支撑框架为防静电材质，低析出、低发尘，符合百级 / 千级洁净室规范，抑制静电积聚，保护晶圆、裸芯片、光学元件等静电敏感器件。
3. 模块化快速更换 整套含滤芯 + 密封垫圈，直接拆装替换，无需额外工具。当真空吸力下降、负压不稳，代表滤芯堵塞，直接更换 808 即可恢复真空泵性能。

  基础规格

• 型号：808
• 品名：HEPA 滤网套装（俗称肝素过滤器套装）
• 滤材：玻璃纤维 HEPA 滤纸
• 过滤精度：0.3μm，99.97% 截留效率
• 适配真空泵：FV‑30、FV‑60、FV-W
• 包含：HEPA 滤芯 + 密封 O 型圈
• 类型：真空泵进气端消耗品
• 使用环境：Class10～1000 无尘车间

  应用场景

半导体晶圆检验、芯片封测、Mini LED、光学镜片、MEMS 元件拾取工位，FV‑30/FV‑60/FV-W 真空拾取系统保养耗材。

粉尘较多的工位，滤芯更换周期缩短；干燥洁净环境可延长使用寿命。

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