型号 5645 是采用调制脉冲（MP）技术的离子棒配备短型单晶硅发射极喷嘴，在提升电离性能的同时，将整体高度降低至仅 65.3 mm，特别适用于安装空间受限的应用环境。Model 5645 为半导体后端先进封装与测试环境，以及前端超净制程中对快速放电时间、低摆幅电压和高精度离子平衡有严格要求的应用，提供业界**的均衡电离性能。
当与 Novx System 或 Novx Inside 监测及反馈控制系统集成使用时，Model 5645 可将离子平衡稳定维持在优于 ±5 V 的水平。通过 MP Control 软件，用户可轻松调整输出电压、频率及离子平衡参数，以满足不同环境条件及产品敏感度要求。Model 5645 提供 14 种长度规格，长度范围从 350 mm 至 2350 mm，可灵活满足各种设备与制程配置需求。
蓉公网安备 51012402000290号
