产品资料

日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列硅片

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产品名称: 日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列硅片
产品型号: 12英寸的Y形笔尖
产品展商: 日本福乐(FLUORO)
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简单介绍

F 系列为全氟树脂耐化学腐蚀湿法专用真空拾取工具，Y 代表轻量化标准固定直杆，适配 12 英寸（300mm）超大硅晶圆、第三代半导体大功率碳化硅 / 氮化镓衬底强腐蚀药液转运，配套 12 寸专用加宽 Y 形笔尖15-PK（导电 PEEK）、15-3F（PCTFE 全特氟龙）


日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列硅片  的详细介绍
整机阀体、吸杆、密封件通体 PTFE/PCTFE 高纯氟树脂，无任何金属部件，搭配 FV 系列无油真空泵实现负压吸附、一键释放；主打开放式浅药液槽、12 寸晶圆常规湿法批量上下料，解决大尺寸超薄晶圆自重滑落、腐蚀渗漏、金属离子污染、吸附压印、边缘崩边等痛点，与 C 系列干式防静电吸笔形成干湿产线互补。
完整标准型号：
F001-Y-15-PK（点动 NC 款）、F002-Y-15-3F（常开 NO 款）、F003-Y-15-PK（自锁 NO+SW 款）
  • F001：按压吸附、松手断气；F002：常态负压，按键释放；F003：锁止负压，长时间持片无需按压
  • Y = 标准重载固定直杆；15=12 英寸专用加宽 Y 形笔尖；PK = 导电 PEEK 防静电；3F = 全氟绝缘特氟龙

二、核心产品优势

1. 整机全氟一体成型，**耐强腐蚀无离子析出

无金属零部件，阀体、Y 直杆、密封圈均为高纯 PTFE/PCTFE 氟树脂，化学惰性极强，长期耐受氢氟酸、硫酸、强碱、光刻剥离液、IPA、丙酮等半导体强腐蚀药液，不溶胀、无金属离子析出，杜绝 300mm **晶圆表面污染；**湿法药液工位使用，干式防静电工序选用 C 系列碳纤维导电尼龙款Fluoro Mec...。

2. Y 加厚重载标准直杆，12 寸晶圆通用主力结构

Y 型加长加厚刚性氟树脂直杆一体成型，承载能力适配 12 寸大重量晶圆，作业无晃动、不变形；结构简洁快拆，适配开放式浅药液槽、标准清洗盒、常规显微镜湿法观测场景，手持轻量化设计，长时间浸泡槽体作业不易疲劳。
通用 15-PK/15-3F 两款 12 寸加宽 Y 形笔尖，耗材独立插拔替换，无需整套更换吸笔，大幅降低长期耗材采购成本；对比 X 万向、Z 加长杆，通用性、性价比更高，是 12 寸湿法产线标配主力型号。

3. 12 英寸 15 型加宽双材质 Y 形笔尖，匹配两类湿法静电管控工况

  • 15-PK 导电 PEEK Y 形笔尖：碳纳米管通体导电，表面电阻 10⁶~10⁸Ω，湿法 ESD 管控产线专用，快速泄放取放摩擦静电，保护光刻胶、**逻辑 / 存储芯片、大功率 MEMS；超宽 Y 型多孔均匀分散负压，完整贴合 12 寸晶圆背面空白区域，不触碰正面电路，负压柔和无**吸附印、超薄晶圆不易崩边滑落フロロメカ...。
  • 15-3F PCTFE 全特氟龙 Y 形笔尖：纯绝缘氟树脂，耐超高浓度氢氟酸、强碱，无防静电需求的重度腐蚀槽选用；镜面抛光低粗糙度、低发尘，可全程浸泡各类腐蚀药液无残留污染。
    笔尖尺寸：厚度 3.5mm，吸附宽度 47mm，有效吸附段 55mm，总长 162mm。

4. 氟树脂气密真空阀，长期浸泡不漏气、不卡滞

阀芯、密封圈一体氟树脂成型，抗药液溶胀、抗药液结晶附着，长期浸泡酸碱槽气密性稳定，不会漏气、阀芯卡滞；阀体内壁镜面光滑，整机可完全浸泡清洗，满足百级湿法洁净管控。
三种阀体模式按需选型：
  • F001 点动：实验室单次取样、短频次晶圆分拣；
  • F002 常开：流水线连续批量转运、自动槽体上下料；
  • F003 自锁：跨槽长距离搬运、镜下长时间静置持片，大幅降低手部疲劳。

5. 加长轻量化模块化湿法专用结构

整机总长 313~323mm，自重 46~51g，提供多长度 Y 直杆适配深浅药液槽；吸头、连接杆、进气接头全部独立模块化，可单独采购替换。氟树脂连续耐温≤100℃，短时耐受 120℃，全程防水防渗药液，无生锈腐蚀风险Fluoro Mec...
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