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日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列

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产品名称: 日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列
产品型号: 8英寸Y形笔尖
产品展商: 日本福乐(FLUORO)
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简单介绍

F 系列为全氟树脂耐化学腐蚀湿法专用真空拾取工具，Y 代表轻量化标准固定直杆，搭配 8 英寸专用加宽 Y 形吸头05-PK（导电 PEEK）、05-3F（PCTFE 全特氟龙），行业俗称 Y 形笔尖，适配 8 英寸（200mm）硅晶圆、碳化硅、氮化镓大功率化合物衬底各类强腐蚀药液转运工序


日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列  的详细介绍
整机阀体、吸杆、密封件通体 PTFE/PCTFE 高纯氟树脂，无任何金属部件，搭配 FV 系列无油真空泵完成负压吸附、一键释放；主打开放式浅药液槽、常规湿法批量上下料，解决湿法取片腐蚀渗漏、金属离子污染、大尺寸薄晶圆吸附压印、崩边、滑落等痛点，与 C 系列干式防静电吸笔形成干湿产线互补。
完整标准型号示例：
F001-Y-05-PK（点动款）、F002-Y-05-3F（常开款）、F003-Y-05-PK（自锁款）
  • F001：NC 常闭点动，按压吸附、松手断气；F002：NO 常开，常态吸附侧键释放；F003：NO 自锁，长时保压无需持续按压
  • Y = 标准轻量化固定直杆；05=8 英寸专用加宽 Y 形笔尖；PK = 导电 PEEK 防静电；3F = 全氟绝缘特氟龙

二、核心产品优势

1. 整机全氟一体成型，耐强腐蚀无离子析出

无金属零件，阀体、Y 直杆、密封圈均为高纯 PTFE/PCTFE 氟树脂，化学惰性极强，长期耐受氢氟酸、硫酸、强碱、光刻剥离液、IPA、丙酮等半导体腐蚀药液，不溶胀、无金属离子析出，杜绝晶圆表面污染；**湿法药液工位使用，干式防静电工序选用 C 系列碳纤维导电尼龙款Fluoro Mec...。

2. Y 标准加厚刚性直杆，8 寸重载通用主力结构

Y 型轻量化固定直杆一体加厚成型，杆身刚性足，可稳定承载 8 寸大尺寸晶圆无晃动，结构简洁拆装便捷，适配开放式浅药液槽、标准清洗盒、常规显微镜湿法观测场景；自重轻便，长时间手持药液槽作业不易酸痛。
通用 05-PK/05-3F 两款 8 寸加宽 Y 形笔尖，耗材独立快拆替换，无需整套更换吸笔，降低长期耗材采购成本；对比 X 万向、Z 加长杆，通用性更强、性价比更高，是 8 寸常规湿法产线标配主力型号。

3. 8 英寸 05 型加宽双材质 Y 形笔尖，匹配两类湿法管控工况

  • 05-PK 导电 PEEK Y 形笔尖：碳纳米管通体导电，表面电阻 10⁶~10⁸Ω，湿法 ESD 管控产线专用，泄放取放摩擦静电，保护光刻胶、大功率 MEMS、功率芯片；加宽 Y 型多孔均匀负压，完整贴合 8 寸晶圆背面空白区域，不触碰正面电路，负压柔和无吸附印、无薄晶圆崩边、滑落Fluoro Mec...。
  • 05-3F PCTFE 全特氟龙 Y 形笔尖：纯绝缘氟树脂，耐超高浓度氢氟酸、强碱，无防静电需求的重度腐蚀槽选用；镜面抛光低粗糙度、低发尘，全程浸泡药液无残留污染。
    笔尖尺寸：厚度 3.8mm，吸附宽度 31mm，有效吸附段 35mm，总长 41mm。

4. **氟树脂气密真空阀，长期浸泡不漏气、不卡滞

阀芯、密封圈一体氟树脂成型，抗药液溶胀、抗药液结晶附着，长期浸泡酸碱槽气密性稳定，不会出现漏气、阀芯卡滞；阀体内壁镜面光滑，整机可完全浸泡清洗，满足百级湿法洁净管控Fluoro Mec...。三种阀体模式按需选型：
  • F001 点动：实验室单次取样、短频次晶圆分拣；
  • F002 常开：流水线连续批量转运、自动槽体上下料；
  • F003 自锁：跨槽长距离搬运、镜下长时间静置持片，大幅降低手部疲劳。

5. 轻量化模块化湿法专用结构

整机总长 246mm，自重约 38g，提供 21/30/46/54mm 多长度 Y 直杆可选，适配深浅不同药液槽；吸头、连接杆、进气接头全部独立模块化，可单独采购替换。氟树脂连续耐温≤100℃，短时耐受 120℃，全程防水防药液渗透，无生锈腐蚀风险。

三、关键技术参数

  • 适配工件：8 英寸 / 200mm 硅晶圆、碳化硅、氮化镓、砷化镓大功率化合物半导体
  • 整机材质：PTFE/PCTFE 全氟树脂（阀体 + Y 标准直杆）
  • 配套 Y 形笔尖：05-PK（导电 PEEK 防静电）、05-3F（PCTFE 全氟绝缘）
  • Y 笔尖尺寸：T3.8mm、W31mm、L1=35mm、L2=41mm
  • 杆身结构：Y 标准轻量化固定直杆（100 短杆总成）
  • 静电电阻：05-PK 为 10⁶～10⁸ Ω；05-3F 完全绝缘不导电
  • 阀门密封：一体成型氟树脂密封，抗药液溶胀结晶
  • 适配负压：0~-80kPa，配套 FV-10/FV-30/FV-60 无油真空泵（另购
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