日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列

二、核心产品优势

1. 整机全氟一体成型，**耐强腐蚀无析出

2. Y 标准刚性直杆，开放式湿法通用主力结构

3. 5 英寸 02 型 Y 形双材质笔尖，匹配两类湿法工况

• 02-PK 导电 PEEK Y 形笔尖：碳纳米管通体导电，表面电阻 10⁶~10⁸Ω，湿法 ESD 管控产线专用，泄放取放摩擦静电，保护光刻胶、MEMS、功率芯片；Y 型多孔均匀负压，完整贴合 5 寸晶圆背面空白区域，不触碰正面电路，负压柔和无吸附印、无薄晶圆崩边。
• 02-3F PCTFE 全特氟龙 Y 形笔尖：纯绝缘氟树脂，耐超高浓度氢氟酸、强碱，无防静电需求的重度腐蚀槽选用；镜面抛光低粗糙度、低发尘，全程浸泡药液无残留污染。
  笔尖尺寸：厚度 2.7mm，吸附宽度 13mm，有效吸附段 21mm，总长 30mm。

4. 氟树脂气密真空阀，长期浸泡不漏气、不卡滞

• F001 点动：实验室单次取样、短频次晶圆分拣；
• F002 常开：流水线连续批量转运、自动槽体上下料；
• F003 自锁：跨槽长距离搬运、镜下长时间静置持片，大幅降低手部疲劳。

5. 轻量化模块化湿法专用结构

三、关键技术参数

• 适配工件：5 英寸 / 125mm 硅晶圆、碳化硅、氮化镓、砷化镓化合物半导体
• 整机材质：PTFE/PCTFE 全氟树脂（阀体 + Y 标准直杆）
• 配套 Y 形笔尖：02-PK（导电 PEEK 防静电）、02-3F（PCTFE 全氟绝缘）
• Y 笔尖尺寸：T2.7mm、W13mm、L1=21mm、L2=30mm
• 杆身结构：Y 标准轻量化固定直杆
• 静电电阻：02-PK 为 10⁶～10⁸ Ω；02-3F 完全绝缘不导电
• 阀门密封：一体成型氟树脂密封，抗药液溶胀结晶
• 适配负压：0~-80kPa，配套 FV-10/FV-30/FV-60 无油真空泵（另购）
• 使用环境：酸碱湿法药液槽、开放式蚀刻 / 清洗腔体，连续耐温≤100℃
• 整机重量：约 33g
• 产地：日本 FLUORO Mechanic 原装进口