日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列

• F001：NC 常闭点动，按压吸附、松手断气；F002：NO 常开，常态吸附侧键释放；F003：NO 自锁，长时保压无需持续按压
• X=106 万向旋转接头；Z=111 加长刚性直插接头；05=8 寸专用吸头；PK = 导电 PEEK 防静电；3F = 全氟绝缘特氟龙

二、核心产品优势

1. 整机全氟树脂一体成型，超强耐化学腐蚀

2. X 万向、Z 加长双接头，全覆盖湿法 8 寸晶圆工况

1. X 万向 106 球头接头
   内置密封氟树脂万向球头，360° 自由旋转调角度，适配浅药液槽、侧开式清洗盒、显微镜湿法观测腔体，多角度倾斜取放大尺寸晶圆，狭小空间操作灵活，光学检测、多角度样品观测**。
2. Z 加长 111 刚性直插接头
   加长加厚刚性氟树脂直杆，专为 8 寸重载晶圆设计，可伸入深腔药液盒、密闭蚀刻腔体、纵深清洗槽内部远距离拾取，杆身长期浸泡不变形、无药液渗漏，刚性足不晃动，适配流水线深腔 FOUP 批量上下料Fluoro Mec...。
   两款接头通用 05-PK/05-3F 两款 8 寸吸头，耗材可单独替换，无需整套更换吸笔，降低长期耗材成本。

3. 8 寸 05 型加宽双材质吸头，匹配不同静电管控湿法产线

• 05-PK 导电 PEEK 吸头：碳纳米管通体导电，表面电阻 10⁶~10⁸Ω，湿法 ESD 管控产线专用，泄放取放摩擦静电，保护光刻胶、功率芯片、MEMS 器件；加宽 Y 型多孔均匀负压，贴合 8 寸晶圆背面空白区域，不触碰正面电路，负压柔和无吸附印、无大晶圆崩边。
• 05-3F PCTFE 全特氟龙吸头：纯绝缘氟树脂，耐超高浓度氢氟酸、强碱，无防静电需求的重度腐蚀槽选用；镜面抛光低粗糙度、低发尘，全程浸泡药液无残留污染。

4. 氟树脂气密真空阀，长期浸泡不漏气、不卡滞

• F001 点动：实验室单次取样、短频次晶圆分拣；
• F002 常开：流水线连续批量转运、自动槽体上下料；
• F003 自锁：跨槽长距离搬运、镜下长时间静置持片，大幅降低手部疲劳。

5. 轻量化模块化湿法专用结构

三、关键技术参数

• 适配工件：8 英寸 / 200mm 硅晶圆、碳化硅、氮化镓、砷化镓化合物半导体
• 整机材质：PTFE/PCTFE 全氟树脂（阀体 + 标准吸杆）
• 配套吸头：05-PK（导电 PEEK 防静电）、05-3F（PCTFE 全氟绝缘）
• 吸头尺寸：厚度 3.8mm，吸附宽度 31mm，有效吸附段 35mm，总长 41mm
• 接头结构：X（106 万向 360° 旋转）、Z（111 加长刚性直插）
• 静电电阻：05-PK 为 10⁶～10⁸ Ω；05-3F 完全绝缘不导电
• 阀门密封：一体成型氟树脂密封，抗药液溶胀结晶
• 适配负压：0~-80kPa，配套 FV-10/FV-30/FV-60 无油真空泵（另购）
• 使用环境：酸碱湿法药液槽、蚀刻 / 清洗密闭腔体，连续耐温≤100℃