日本福乐(FLUORO)真空镊子F系列硅片

二、核心产品优势

1. 全机身氟树脂一体成型，**耐强腐蚀

2. 101 加长窄型吸杆，适配深浅药液槽通用

1. X 万向 106 球头：360° 自由旋转调角度，适配浅槽、侧面开口清洗盒、显微镜湿法观测，多角度倾斜取片无死角；
2. Z 加长 110 接头：刚性锁止直杆，可伸入纵深深槽远距离拾取，长期浸泡不变形、不漏液，适配流水线批量上下料。
   杆身模块化快拆，吸头、接头可单独替换，无需整套更换吸笔，降低耗材成本。

3. 5 寸 02 型双材质吸头，覆盖湿法静电 / 纯腐蚀工况

• 02-PK 导电 PEEK 吸头：碳纳米管通体导电，表面电阻 10⁶~10⁸Ω，湿法 ESD 管控产线专用，泄放摩擦静电保护光刻胶、MEMS 芯片；Y 型多孔接触面均匀贴合 5 寸晶圆背面，不触碰正面电路，负压柔和无吸附印、无崩边。
• 02-3F PCTFE 全特氟龙吸头：纯绝缘氟树脂，耐超高浓度氢氟酸、强碱，无防静电需求的重度腐蚀槽选用，低粗糙度低发尘，全程浸泡无残留污染。

4. **氟树脂气密真空阀，湿法长期稳定不漏气

• F001 点动：实验室单次取样、短频次操作；
• F002 常开：流水线连续批量转运；
• F003 自锁：长时间镜下观测、静置保压。

5. 轻量化模块化湿法专用结构

三、关键技术参数

• 适配工件：5 英寸 / 125mm 硅晶圆、碳化硅、氮化镓、砷化镓化合物衬底
• 整机材质：PTFE/PCTFE 全氟树脂（阀体 + 101 吸杆）
• 配套吸头：02-PK（导电 PEEK 防静电）、02-3F（PCTFE 全氟绝缘）
• 杆身型号：101 加长窄型通用杆，长度 21/30/46/54mm 可选
• 接头结构：X（106 万向 360° 旋转）、Z（110 加长刚性直插）
• 静电电阻：02-PK 为 10⁶～10⁸ Ω；02-3F 完全绝缘不导电
• 阀门密封：一体成型氟树脂密封，抗药液溶胀结晶
• 适配负压：0~-80kPa，配套 FV-10/FV-30/FV-60 无油真空泵（另购）
• 使用环境：酸碱湿法药液槽、蚀刻 / 清洗密闭腔体，连续耐温≤100℃
• 整机重量：约 34g
• 产地：日本 FLUORO Mechanic 原装进口