产品资料

日本福乐(FLUORO)真空镊子C系列

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产品名称: 日本福乐(FLUORO)真空镊子C系列
产品型号: 6英寸导电X-Z型芯片
产品展商: 日本福乐(FLUORO)
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简单介绍

C 系列为 FLUORO干式 ESD 防静电真空拾取工具，适配 6 英寸（150mm）硅晶圆、功率芯片、碳化硅衬底干式无尘转运，标配专用导电四爪吸头96-CP，分为X 万向 360° 旋转杆、Z 加长刚性直杆两种杆身结构，适配狭小腔体、深腔载盒两类差异化工况。


日本福乐(FLUORO)真空镊子C系列  的详细介绍
整机笔身为 TORAYCA 碳纤维导电尼龙，96-CP 吸头通体碳纳米管导电 PEEK，全通路无绝缘死角防静电；内置高纯氟树脂真空阀，搭配 FV 系列无油真空泵即可完成负压吸附、一键释放，专为百级干式半导体产线、探针检测、深腔 FOUP 上下料工位设计，解决 6 寸薄晶圆静电击穿、背面吸附印、颗粒污染、设备内部取片受限等痛点。
完整标准型号：
C001/C002/C003-X-96-CP（X 万向球头款，接头代号 106）
C001/C002/C003-Z-96-CP（Z 加长直杆款，接头代号 110）
  • C001：NC 常闭点动；C002：NO 常开侧按释放；C003：NO 自锁长时保压
  • X=360° 万向旋转接头；Z = 深腔加长刚性直杆；96-CP=6 寸专用导电防静电 PEEK 吸嘴Fluoro Mec...

二、核心产品优势

1. 全域一体式导电，全流程 ESD 静电防护

笔身采用碳纤维导电尼龙，表面电阻率稳定 10⁶～10⁸Ω；96-CP 四爪吸头通体导电 PEEK，无分段绝缘区域，快速导走取放摩擦产生的静电荷，完整保护 CMOS、存储芯片、光刻胶不受静电损伤。整机无外露金属零件，无静电蓄积，符合 ESD 管控车间强制标准；区别于 F 系列全特氟龙绝缘款，仅适配无药液干式工序。

2. X 万向杆、Z 加长直杆，双结构覆盖全部取片场景

  1. X 万向旋转杆（106 球头）
    内置万向球头，吸头可 360° 自由旋转调节角度，适配探针台、金相显微镜、狭小反应腔体、侧开式载盒，多角度倾斜取片无死角，操作姿态灵活，是光学检测、多角度样品观测**。
  2. Z 加长固定直杆（110 长杆）
    加长刚性直杆，可伸入深腔晶圆盒、密闭高温腔体、纵深设备内部远距离拾取，杆身不易晃动，取片定位精准稳定，适合流水线深腔 FOUP 批量上下料。
    两款杆身通用 96-CP 导电吸头，耗材可单独互换替换，无需整套更换笔身，降低长期使用成本。

3. 6 寸专用 96-CP 四爪多孔导电吸盘，低损伤稳定吸附

96-CP 加宽四爪对称接触面完整贴合 6 寸晶圆背面空白区域，完全避开正面光刻芯片电路；吸头镜面抛光无毛刺、低发尘，多孔负压均匀分散吸附压强，超薄硅片不易形变、崩边、产生吸附印。开放式爪型结构视野通透，人工分拣、镜下取样定位便捷，吸附牢固无掉片风险；导电 PEEK 质地柔软，杜绝划伤晶圆镀膜层。

4. 氟树脂内置真空阀，高气密低析出洁净阀体

阀芯、密封件采用高纯氟树脂一体成型，气密性持久稳定、长期作业不漏气；阀体内壁镜面抛光，减少微粒堆积，整机可完整拆解浸泡 IPA、无水乙醇清洗，适配百级无尘洁净管控。
三种阀体操作模式按需选型：
  • C001（NC 常闭）：点动吸附，松手断气，实验室单次取样；
  • C002（NO 常开）：常态持续吸附，侧键按压释放，流水线批量转运；
  • C003（NO+SW 自锁）：自带锁止开关，锁定负压无需持续按压，长时间静置检测省力。

5. 轻量化模块化干式专用结构

整机总长 245mm，自重仅 23g，提供多长度吸杆可选，长时间手持分拣不易手部酸痛；吸头、连接杆、进气接头均可单独采购替换，耗材更换便捷。
**干式无药液工位使用，碳纤维尼龙笔身抗冲击、跌落不易开裂；导电 PEEK 吸头短时耐温 130℃，耐受醇类无尘清洗剂；不可用于强酸强碱湿法蚀刻、清洗工序（湿法场景选用 F 系列全特氟龙真空吸笔）。

三、关键技术参数

  • 适配规格：6 英寸 / 150mm 硅晶圆，配套导电吸头 96-CP（四爪型）
  • 笔身材质：碳纤维增强导电尼龙（TORAYCA）
  • 吸头材质：碳纳米管导电 PEEK（黑色防静电）
  • 杆身类型：X 万向 360° 旋转杆 / Z 加长刚性固定直杆
  • 整机总长：245mm
  • 整机重量：约 23g
  • 整机表面静电电阻：10⁶～10⁸ Ω（全域导电）
  • 阀门密封材质：高纯氟树脂，低析出、高气密性
  • 适配负压范围：0~-80kPa，配套 FV-10/FV-30/FV-60 无油真空泵（另购）
  • 使用环境：干式百 / 千级无尘室，连续工作耐温≤100℃
  • 产地：日本 FLUORO Mechanic 原装进口
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