日本OTSUKA大塚 膜厚测量系统

一、产品概述

• FE-3700：适配中小尺寸面板（手机、平板、车载屏，G1~G6 代基板）
• FE-5700：适配超大尺寸 TV/OLED 基板（G7~G10 代高世代玻璃）
  整机一体化防尘防静电机柜，可对接面板自动化产线，实现整片基板全域 Mapping 在线质控，是 LCD、OLED、TFT 制膜工序核心量测设备。

二、核心优势

1. 全波段宽量程，薄厚膜通测
   230–1700nm 紫外 - 可见 - 近红外复合光路，测厚覆盖1nm~500μm，纳米级超薄介质、微米级 PI 配向膜、光刻胶、厚封装树脂均可稳定解析；SiO₂薄膜重复精度≤±0.05nm，**管控面板膜层均匀性。
2. 全自动大行程 XY 扫描载台
   搭载高精度伺服 XY 运动平台，支持整片基板全覆盖多点扫描，自动生成 2D/3D 厚度云图，快速定位边角膜厚偏移、涂布不均、成膜缺陷；搭配视觉定位，精准捕捉像素微区点位测量。
3. 多层膜同步解析，一机多用
   内置多模型拟合算法，*多同步解析 20 层复合薄膜，单次测量同步输出膜厚、折射率 n、消光系数 k，无需多台设备分别检测 ITO、氮化硅、有机发光层、彩膜树脂等材料。
4. 产线级稳定洁净设计
   整机密闭防尘、防静电、抗震结构，搭载温湿度自动补偿算法，抵消洁净车间环境干扰；支持 7×24 小时不间断在线量产，适配面板无尘车间规范。
5. 智能数据互联，闭环制程管控
   可视化操作软件预设 LCD/TFT/OLED 材质数据库，可编写自动测量宏程序；自动导出均匀性报表，支持对接 MES/PLC 系统，超差基板自动标记、数据全程追溯。
6. 高速无损检测
   单点测量≤1s，无接触光学测量，不划伤基板、不污染膜层，高价值玻璃基板可反复检测，不产生耗材损耗。

三、核心技术规格