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日本OTSUKA大塚多通道光谱仪 应用广泛
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产品名称:
日本OTSUKA大塚多通道光谱仪 应用广泛
产品型号:
MCPD-9800 / 6800
产品展商:
日本OTSUKA大塚
产品文档:
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简单介绍
MCPD 系列分旗舰 MCPD-9800 与标准 MCPD-6800 两款多通道分光主机,覆盖紫外至近红外多波段模块。9800 *快 5ms 高速采集、***宽动态范围,适配高速产线与高精度显微检测;6800 性价比突出,满足实验室常规透射、反射、膜厚检测。采用分体光纤柔性结构,可集成各类自动化设备实现在线监测,依托分光干涉算法可测 65nm~92μm 薄膜,*高解析 50 层复合膜,同步输出膜厚、光谱、色度、相位差参数。搭载 LAN/USB 工业通讯对接 PLC/MES,非接触无损测量,广泛用于半导体、显示光学膜、锂电光伏制程离线研发与在线品质监控
日本OTSUKA大塚多通道光谱仪 应用广泛
的详细介绍
一、产品定位
MCPD 系列是大塚全系膜厚、相位差、色度检测设备的
核心分光检测主机
,分为旗舰款 MCPD-9800、标准通用款 MCPD-6800 两大机型,搭配多波段光学模块,依托分体光纤柔性光路,兼顾实验室离线检测与产线 Inline 嵌入式在线监测。可同步采集全波段光谱,一站式完成膜厚、反射 / 透射、色度、荧光、相位差多参数测量,广泛配套 OPTM、RETS、SF-3、线扫描膜厚仪等设备使用
大塚科技股份有限公司
。
二、检测原理
采用
全息光栅分光 + 电子冷却阵列传感器
,光纤采集样品反射、透射、干涉光谱,单次采集数百通道波长数据;搭载自研分光干涉拟合算法,自动解析单层 / 多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数、色度、双折射相位差。电子制冷传感器抑制噪声,低杂散光光路消除测量干扰,毫秒级完成全光谱采集,适配高速产线动态监控与微弱信号高精度检测。
三、核心参数与机型差异
1. 基础通用配置
光纤:标准 2m 石英光纤,可定制加长、真空耐高压光纤
通讯:USB+LAN 双接口,支持 IO 触发、对接 PLC/MES 工业系统
波长模块:220~850nm 紫外、300~950nm 可见光、900~1600nm 近红外多波段可选
可测项目:膜厚、反射 / 透射 / 吸收光谱、色度、荧光、发光光谱、相位差 Re/Rth、光学常数 n/k
大塚電子
2. MCPD-9800(旗舰高性能型)
传感器:电子冷却 CCD/InGaAs,512/1024 双通道可选,*高分辨率 0.5nm / 像素
采集速度:5ms~20s,毫秒级极速扫描
动态范围:100 万:1 HDR 宽动态,弱光、高反光样品测量稳定
杂散光抑制:远优于标准机型,紫外波段高精度定量检测
适配场景:显微分光、高速卷膜在线、多点阵列监测、微弱荧光、半导体精密制程
机身尺寸:105×230×280mm,轻量化竖置机身
3. MCPD-6800(标准经济型)
传感器:电子冷却 PDA 光电二极管阵列,统一 512 通道
采集速度:16ms~65s,满足常规检测节拍
动态范围:10 万:1,基础样品测量稳定
适配场景:实验室透射 / 反射、常规光学膜抽检、简易离线膜厚检测
机身尺寸:105×215×280mm,体积更小,成本更优
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