日本OTSUKA大塚MCPD series 在线评估测试系统

Name: 日本OTSUKA大塚MCPD series 在线评估测试系统
Brand: 日本OTSUKA大塚
SKU: MCPD-9800

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产品名称: 日本OTSUKA大塚MCPD series 在线评估测试系统

产品型号: MCPD-9800

产品展商: 日本OTSUKA大塚

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简单介绍

MCPD 系列是高速多通道分光在线检测核心系统，分 9800/6800 两大机型，覆盖紫外至近红外多波段，短 5ms 完成全光谱采集，动态范围高 100 万：1。采用柔性分体光纤结构，可集成涂布、晶圆、镀膜、真空设备实现在线监测，支持多点光纤切换与龙门横动全域扫描。依托分光干涉算法可测 65nm~92μm 薄膜，*高解析 50 层复合膜，同步输出膜厚、反射透射光谱、色度、相位差等参数。非接触无损测量，搭载 LAN/USB 工业通讯对接 PLC/MES，7×24 小时稳定量产监控，广泛用于半导体、显示光学膜、锂电光伏卷材制程品质在线管控。

日本OTSUKA大塚MCPD series 在线评估测试系统 的详细介绍

一、产品定位

MCPD 系列是以多通道高速分光检测器为核心的模块化在线光学评估系统，分 MCPD-9800（旗舰）、MCPD-6800 两大机型，覆盖紫外 / 可见光 / 近红外 12 种波段规格。依托柔性光纤分体式结构，可直接集成卷对卷涂布产线、晶圆机台、镀膜设备、真空腔体，实现 7×24 小时不间断在线无损检测，一站式完成膜厚、光谱、色度、相位差、反射 / 透射率全参数实时监控，是大塚全系膜厚、相位差设备的核心分光检测单元。

二、检测原理

采用全息光栅分光 + 电子冷却 CCD/InGaAs 阵列传感技术，光纤采集样品干涉 / 透射 / 反射全波段光谱，单次采集数百组波长数据；搭载自研分光干涉拟合算法，同步解析薄膜厚度、光学常数、色度、双折射相位差。

膜厚检测：分光干涉法，解析多层复合膜各层厚度；
光学特性：多波长光谱同步采集，输出反射率、透射率、色度、Re/Rth 相位差；
高速采集：*短 5ms 完成全光谱扫描，匹配高速流水线节拍。

三、核心技术规格

1. 硬件基础参数

传感器：512/1024 通道电子冷却 CCD、近红外 InGaAs 传感器
光谱分辨率：0.5~1.9nm / 像素，多波段可选 220~1000nm 区间
动态范围：旗舰 9800 型达 100 万：1，弱光 / 高反光样品测量稳定
杂散光抑制：仅上代 1/5，紫外波段测量精度大幅提升
光纤：标配 2m 耐弯折石英光纤，支持真空法兰光纤适配密闭腔体
机身尺寸：110×230×282mm，整机约 6kg，小型轻量化易嵌入设备
通讯：LAN、USB 双接口，支持 PLC、MES 远程联动、数据上传

2. 测量性能

膜厚量程（n=1.5 换算）：65nm～92μm，覆盖超薄氧化膜至厚树脂涂层
解析层数：*高 50 层复合薄膜自动分层测算
曝光时间：1ms~65s 可调，兼顾高速产线与微弱荧光检测
可测项目：膜厚、反射 / 透射 / 吸收光谱、色度、相位差 Re/Rth、折射率 n/k、光源发光光谱、荧光

3. 两种在线系统架构

多点光纤切换式

单台 MCPD 搭配多分支光纤，无需移动探头，一次性检测卷材 TD 横向多点厚度分布，节省多台检测器成本。
龙门横动扫描式

Y 型光纤探头搭载电动横移模组，沿卷材横向匀速扫描，输出全域厚度云图，精准定位涂布条状、边厚缺陷。

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