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日本FLUORO福乐非接触式伯努利卡盘BC-K6-300

晶圆非接触传输伯努利卡盘
BC系列的特点

晶圆非接触传输贝尔努伊夹爪BC系列的特点1 产品图片
  • 手持使用角度为20度、45度、90度的三点来选择本体部件，平放用的BC-K系列支持2英寸到12英寸。
    （使用角度是固定角度，无法更改使用角度，除非更换本体部件）
  • 由于引导停止器具有渐变的锥度，因此与晶圆边缘点接触。
  • 带电防止聚碳酸酯使用的导环，可以进行目视位置确认和吸引状态确认。
  • 通过采用本体部导电性尼龙树脂实现了轻量化。
  • 两面都有图案印刷，并且可以处理50µm薄且难以处理的晶圆。
  • 角型等与目标物相匹配的定制设计产品也能应对。

非接触搬送用伯努利卡盘

用于Protoss的300微米以下

用于Protoss的300微米以下产品图像
材料
本体: 导电性MC尼龙
导板: 防止带电的聚碳酸酯
付属品
导电性管6×4（1.5米）
使用角度
45° / 90°
适配晶圆尺寸 代码编号。 气压（MPa） 质量（克）
6英寸 BC-P6-300 0.2 180
8英寸 BC-P8-300 0.2 240
12英寸 BC-P12-300 0.4 450
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