图1 喷嘴部分(上喷嘴和下喷嘴)
*1: 测定位置是在实际的工件位置,150mm×150mm 20pF 板的CPM(充电板监测)测量的值(去电时间是±1000V→±100V 的衰减时间)。
*2:请使用清洁且干燥的空气。如果使用含有水分或油分的空气,放电针会变脏并可能导致性能下降或故障。
*3:本机调节器的设定压力值。
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